【编者按】由于工作的特殊性,华润微电子的一线来稿中,时常夹杂着对外行人而言异常陌生的专业名词。我们无法揣测,也难以了解。然而,晦涩难懂的专业术语却无法阻挡背后涌动着的一腔激情,从他们的涓涓细语中,我们依然看到了最本质、最朴实的华润精神,照亮着他们前行的道路。

我们,在路上
 
张玲 【华润微电子】
“那一天,我不得已上路,为不安分的心,为自尊的生存,为自我的证明;路上的心酸,已融进我的眼睛,心灵的困境,已化作我的坚定……”华润晶芯的每个员工都爱唱刘欢的这一曲《在路上》,因为他们觉得这就是他们加入这个大家庭以来心路历程的真实写照。回首华润晶芯从生产线筹建到上量生产的短暂路程,每一步都是那么坎坷,每一步都充满了挑战,同时,也有着太多感人的故事。

拼命三郎——包宇峰
包宇峰,光刻设备高级工程师,是华润晶芯人尽皆知的“拼命三郎”,这外号可是来之不易啊,是老包用实力和汗水硬拼来的。

包宇峰的岗位工作主要是修理ASML光刻机。在上量过程中,为了保证ASML的设备状态,包宇峰不分昼夜地排查问题、修理设备,连续工作30多个小时。在这30多个小时里,包宇峰没合一下眼。为了争取时间,他甚至连饭都不去吃,叫同事带了几个冷包子,饿了就啃几口充充饥。同事劝说他休息一下,他就跟人急:“机器在休息,人怎么休息得了?”30多个小时后,问题解决了,包宇峰仍然精神亢奋,居然还有心情跟同事开玩笑:“这下你不叫我休息我都要回去休息了。”同事只能叹其为“拼命三郎”。

包宇峰技术精湛,能够触类旁通。不光会修理ASML,对轨道的故障也能一一排除。有一次,深夜11点,包宇峰刚修理完光刻机,显影轨道出现了故障。包宇峰自告奋勇开始排查问题,更换备件,在第一时间保证了生产的正常运转。第二天,负责轨道维修的工程师笑着对包宇峰说:“老包,把我的活抢了,我可要下岗了。”包宇峰回敬他:“你倒好,昨夜香窝暖被的,我倒在陪你那冰凉的铁家伙,没找你请客够不错了。”说完,两人哈哈大笑。

包宇峰不光是工作上的“拼命三郎”,更是足球场上的“拼命三郎”。尽管他长得瘦瘦的,个子不高,戴副眼镜,但在足球场上异常灵活敏捷,有着拼命三郎式的作风,为此,他被公推为华润晶芯足球队队长,这可是他深深引以为豪的“职务”哦。

安全卫士——尹成
尹成,华润晶芯设备支持特气工程师,尽管脸上架了副大大的眼镜,但依然掩饰不了他那警觉、敏感的眼神,使人不禁联想到那正在执行任务的警犬。事实上,尹成,确实是华润晶芯人尽皆知的安全卫士。

尹成的工作责任心和安全意识特强,他充分意识到特气的严重危害性,无时无刻不在警惕着特气安全。有一次,尹成正在换HCL气柜备用瓶进行N2保压24小时,发现N2压力降了1PS,原则上要求24小时保压压降为“0”。尹成立即认识到问题的严重性:HCL是一种有毒腐蚀性气体,人吸入或与皮肤接触会造成严重的化学灼伤。尹成马上戴上防护用具,全副武装开始对气柜盘面进行分步检查,逐步排除V4、V5穿孔、调压阀、PIGTAIL泄漏,最后对HCL钢瓶阀门接头进行检查,使用防爆探照灯发现HCL钢瓶DISS634阀门接头里面的圆平端面有一针尖大的豁口。问题找到了,尹成拆下钢瓶,用闷头闷死钢瓶接头,并且通知采购员将钢瓶退回厂家。漏气事件终于处理完了,尹成长长地松了一口气,一颗提着的心总算落了下来,这才发觉全身都湿透了!

06年上半年尹成共发现钢瓶四起泄漏事故,凭着精湛的技术妥善地解决了问题,避免了安全事故的发生,真无愧于“安全卫士”的称号。

攻关能手——王雷
IPCE-3200等离子去胶机,目前国内只有华润晶芯有15台。由于设备陈旧、缺少资料、没有同行经验参考、更找不到专家和供应商帮助,设备调试中均匀性差的问题一直未找到解决办法。但是如果不解决均匀性问题,15台IPCE-3200近似于报废,公司还得花大量资金购进GASL-3510满足干法去胶产能。面临此种困境刻蚀模组主动出战,尝试攻克这一设备顽疾。从最初一根根的配电柜连线,到开机后系统无法正常受控、加热灯频繁报警,再到后来成功地产生氧气等离子体,主导调试的设备工程师王雷和他的伙伴们用两周时间很快完成了硬件调试。然而做出的第一片圆片表面去胶后却像凡高的抽象画一样,重复着前期的调试结果……均匀性仍然很差,无穷大!不过,这在王雷的意料之中,难关岂是这么轻易能被攻破的!接下来王雷和工艺工程师从菜单和硬件两方面入手,进行了大量的试验,寻找解决办法。又是调整气体流量,改变腔体压力,研究加热、RF与刻蚀速率之间的关系,描绘出彼此之间的关系图;又是对石英盘的位置、RF的高度进行试验。但结果是:极差的均匀性依然坚守着堡垒,阻止着王雷一次次的进攻。

难道这么多的努力要付之东流?王雷有点泄气,但从不服输的个性和同伴们的支持鼓励着他:必须冷静、理性,寻找新的突破口。对比GASL-3510、TCPM-9600 DSQ去胶,较高的抽速是它们的共同特点,而IPCE-3200却不能和它们较劲。王雷分析道:IPCE的泵现在安装在工艺层,而我们的却在下夹层,中途弯曲的管道必然会损失泵的抽速。在泵组的协助下,IPCE的泵改造成了双级泵,抽速得到了明显提高。

第一步做到了,那么为什么速率的分布这样差呢?为什么其分布与腔体里石英环相似呢?王雷提出一个大胆的改造设想:取下石英环,将腔体采用一个Bubbler 通气,不流经GDP!这是彻底背叛设备原始设计的。进攻的号角再次吹响!全新的尝试总是令人充满激情,加热灯点亮了、plasma辉光产生了,短短30秒的工艺,却让人感觉过了足足两个小时。当手臂传出第一张圆片时,整体均匀的表面令人欣喜若狂,测试显示:均匀性8%,创造了该设备调试以来的最好成绩!在随后的优化中更做到了4%!

一直以来,IPCE的均匀性难题,终于在帅小伙王雷锲而不舍一个半月的攻关下得以颠覆。现在刻蚀工艺人员已经开始工艺验证。

在上量生产的路上,晶芯员工们在各自不同的岗位上,相扶相携,共同面对困难,一起迎接挑战,挥洒了多少汗水,又编织了多少梦想!
[作者系华润微电子控股有限公司员工]