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2009华润十大重要事件之九
华润微电子8英寸生产线建成投产 6月5日，华润微电子8英寸0.25um以下模拟集成电路芯片制造项目落成，这是国内唯一一条完全依托企业自有资金、技术、市场兴建的最高技术水平的8英寸模拟IC晶圆生产线。 抢占制高点 |
| 2007年10月项目立项，
5个月完成净化间工程， 2个月完成试生产线设备安装及调试， 1个半月完成第一个产品试生产并成品率达标， 5个月完成八大工艺平台的建立并可接单生产， 6个月通过ISO9001、ISO14001、OHSAS18001、RoHS以及ISO27001等多项体系认证， 2009年6月正式投产， 2009年底冲击10000片目标， …… 翻开华润微电子8英寸晶圆生产线建设大事记，可以清晰地看到：在一年多的时间里，在国家、省、市发改委和环保部门、工业和信息化部以及华润集团的全力支持下，华润微电子8英寸线项目以令人赞誉的业界高速度完成了项目审批、净化间建设、设备搬迁安装调试、工艺性试生产、正式投产等工作。员工们自信地说，我们的目标是打造世界一流绩效8英寸晶圆线。 为振兴民族微电子作贡献 在中国，微电子是一个弱小的产业，但在国民经济中起着关键作用，作为一个央企，作为共和国的长子，华润集团主动承担起应有的责任，积极扶持微电子产业的发展，2007年9月批准兴建8英寸晶圆生产线项目。 该项目计划总投资12亿美金（100亿人民币），是华润集团近年批准的单体投资最大的项目，全部资金完全由华润集团和华润微电子筹措。该项目以模拟IC为主要产品方向，建成后将形成月产8英寸晶圆6万片的规模，技术水平提升至0.11微米，是国内唯一一条完全依托企业自有资金、技术和市场兴建的最高技术水平8英寸模拟集成电路晶圆生产线。作为实现发展战略的重要举措，此举将进一步提升及巩固华润微电子工艺技术水平和业务领先优势，用公司CEO王国平的专业术语来说，有助于华润微电子抢占当今世界新兴模拟半导体市场制高点。 和8英寸线一起成长壮大  按照华润集团的统一部署，8英寸晶圆生产线的建设快速推进。负责净化厂房土建工程的工程师现在回忆起参与建设时的情景还难掩心中的澎湃激情，他回忆说，当时有很长一段时间，每天白天在工地现场监督检查，别人下班后我们就回到临时搭建的办公室里一边吃着外送的快餐，一边开始整理当天的相关数据报告，讨论施工改进细节等。而当时不管是男同事还是女同事，都穿着厚重的防砸鞋，带着安全帽，天气好的时候就是一身灰尘，遇到阴雨天是一身泥泞，连出租车司机都笑道，做完我们的生意一般都要去洗洗车。一般晚上回到家，家人都已熟睡；第二天早上又投入到紧张的工作中，家人心疼地笑称我们是“旅客”。回想起当时的情景，这位同事自豪地说：“我是和8英寸线一起逐步成长壮大的。”2008年初的一场暴雪，一定让很多人都印象深刻，当时正是建筑施工队和材料进驻的时间，那段日子是工地上最艰苦的时光。暴雪影响了交通，要调材料相当困难，但为了赶进度，负责厂建的新工处同事们进行了各种尝试。为了尽可能抢时间，与承包商一起直接与供应商联系，雪一停施工队便进场开工了。时刻关注工程进度，一旦有延迟，再晚也要开会商讨出赶追方案。虽有部分小工程受雪天影响而延误，但经过积极赶超，总目标基本没受影响。 携手与时间赛跑的人 2008年6月15日起，8英寸生产线进入试生产阶段，8个工艺同时开跑，首个产品的所有菜单都有待验证。因为设备的不同，工艺匹配是否完全一致谁也没有十足的把握，只能看最终的产品是否成功。所有的流片步骤都需要工程师确认，生产流程还是纸单，制造部的人员还没有完善的培训体系，只能由工程师亲自作业。同时，试验批等级很高，需要24小时对应。当时的工艺整合、模组以及制造部人力都十分紧张，特别是在调试菜单和处置突发问题方面有经验的工程师更少。部门主管和工程师一起住在厂里的宿舍，工艺整合工程师24小时在净化间轮班抱着片子跑，提前通知人员准备下一站设备菜单……很多同事们月加班都在200小时，平均瘦了5斤多。最后，连同模组和制造部的一群“熊猫眼”最终完成了那个产品。8月初有良率反馈回来，月底的一批试验批达到80%以上，目前已稳定做到95%的水平。北京奥运会开幕式那晚，部门里的女孩子因工作压力太大哭了，但哭完之后又继续主动工作到深夜；模组的工程师连续几天夜里被我们叫进净化间干活而毫无怨言（他开玩笑说自己有了时差）……怪不得陈正宇副董事长称赞他们是一群“携手与时间赛跑的人”。 抢占技术制高点 工艺技术平台是晶圆生产线的核心和灵魂，开发先进工艺技术动辄上千万美金，需要丰富的经验和IP的支持，工艺论证开发的时间短则一年、长则数年，而且为使生产线满负荷运转，需要几十项不同工艺平台、上百个不同产品的支持，每一个平台和产品至少要经过6个月的质量考核。怎么办？自主开发与引进、吸收、消化相结合是唯一的解决之道。公司以向IBM获得的工艺和技术授权为基础，引进海内外关键技术与核心人才，集中公司技术资源日夜兼程地开发符合市场需求的先进工艺制程和专有工艺技术，在18个月时间内完成了8项重大专有工艺技术在8英寸线上的嫁接，同时完成了0.13微米、0.162微米和0.18微米等15项标准工艺技术平台的开发任务。 如今，华润微电子8英寸晶圆生产线正朝着2011年月产能6万片的目标拼搏。实现此目标，将使华润微电子8英寸晶圆生产线成为业内建设和量产速度最快的生产线。 |
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