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电子,是从事集成电路制造的行业,其芯片生产环节在恒温、恒湿、封闭、循环通风的高洁净度厂房内进行,以上百种危险化学品为主要物料,具有易燃、易爆、易制毒、剧毒、强腐蚀等高危险理化性质,一旦在运输、储存、现场使用、废弃物回收等环节管理不到位,将给社会、环境、从业人员带来灾难性后果。其混合物多、纯度高、频繁连续在线使用等特征,更大大增加了现场危化品的管理难度。在半导体行业,由于对生产线危化品管理不善,导致厂房火灾、人员中毒的事件屡有发生,集成电路当属高险产业。

华润微电子在日常的EHS管理中,一直遵循安全系统工程(Security System Engineering, SSE)标准化管理原则,危化品管理是EHS管理中的一个重要组成部分,在系统思想指导下,我们运用先进的系统工程理论和方法,对安全及其影响因素进行分析和评价,建立综合集成的安全防控系统并使之持续有效运行。同时,由EHS部门对体系运行情况进行评估与监督,定期反馈。危化品管理的核心问题,在于对管理中各类导致安全问题的事件和灾害事故建立有效的预防处理机制,以高度系统化的安全措施应对带来安全问题的系统化因素。

在微电子行业,危害性最大的因素莫过于火灾、爆炸和化学品泄漏。这三项都与危化品有密切关系。对此,我们建立了HPM(Hazardous Process Materials) TURN ON制度。主要针对MSDS上反应性(黄色)+健康危害性(蓝色)+可燃性(红色)任意一种大于等于“3”,则在现场管理中即认定为HPM。在实际管理中,设备机台完成二次配管以及相关监测,开始使用危害性制程物质之前都需要进行HPM TURN ON,包括危害性化学品中央供应系统、设备机台中央系统、设备机台本地系统、设备辅助系统,以供应危害性化学品TURN ON前评估。

谈到危化品管理,就不得不提及应急管理。作为化学品管控流程的末端环节,其价值直接体现在及时抑制事件可能扩大导致事故,以及事故的进一步扩大。良好的应急管理可以最大程度地降低事件、事故损失。对此,微电子的应急管理主要针对制度、预案、培训、演练四步进行。就拿制度建设来说,微电子根据自身行业特点及行业事故类型的历史数据,建立了多条对应的管理制度来保障应急管理,如《自然灾害应急管理规范》、《意外事件紧急应变管理规范》、《异味处理操作规范》、《应急疏散管理规范》、《紧急应变演习规划与评估管理规范》等,并通过不断的培训、宣导等措施确保管理制度得以落实。

微电子的产品、产能会经常发生变化,根据这些变化,我们需要对设备、工艺进行调整,于是产生了变更管理(MOC,Management Of Change)。变更,是为了提高产率、产品质量、设备的可用性或操作性,或是降低生产成本及风险等因素,对制程、系统、活动或服务等进行变更或修改,致使其作业条件或环境可能偏离原有的安全、卫生、环保范围及控制措施。例如,设备的改造、移位、新装;设备使用化学品的变更及化学品主要工艺参数诸如浓度、温度、压力等的变化;应急设施系统,如消防系统、气体侦测系统、广播系统的改造;冲身洗眼器改造、逃生走道变更等紧急逃生设施的变更;废气、废水处理装置或系统等环保设施的变更,以及个人防护用品变更等。但变更亦可能导致风险,譬如变更设计与原设计不兼容,破坏原安全评估的完整性与正确性,未做过适当的安全审查或影响评估,从而造成不必要的经济损失。

常言道,“隐患险于明火、防范胜于救灾、责任重于泰山”,华润微电子以危险化学品辨识、控制和评价等过程进行系统化管理,对危化品防患于未然,时刻提醒自己,不断化“危”为机,创造安全环保的生产环境,使企业达到最佳安全状态,我想,这应该是奋战在微电子安全生产第一线战友们共同追求的境界吧。
[华润微电子杨全兴 执笔]

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